蝕刻液的種類多種多（duō）樣，用途也是非常廣泛，而對於不同用途、不同類型的蝕刻液，其工藝（yì）參（cān）數表也有差別，今天小琪就和（hé）大家介紹（shào）一下酸性、堿性蝕刻液以及三種（zhǒng）硫酸（suān）微蝕蝕刻液體係的主要參數！
堿性：
主要工藝參（cān）數（shù） | 控製範圍 | 作用 |
溫度 | 50±2℃ | 蝕掉非線路底銅（tóng） |
速度 | 2.0~5.0m/min | |
壓力（lì） | 3.0±0.8 bar（上） 1.5±0.5 bar（下） |
酸性：
主要工藝參數 | 控（kòng）製（zhì）範圍 | 作用 |
溫度 | 50±2℃ | 蝕掉非線路底銅 |
速度 | 2.0~5.0m/min | |
壓力 | 3.0±0.8 bar（上） 1.5±0.5 bar（下） |
雙氧水/硫酸體係：
主要工藝參數 | 控製範圍 | 作用 |
Cu2+ | ≤30g/L | 除（chú）去銅表麵上氧化層 和形成的微觀粗化，增強後續工序結合力（lì） |
H2SO4 | 3%~5% | |
H2O2 | 30~60g/L |
過硫酸鈉/硫酸體係（xì）：
主要工藝（yì）參數 | 控製範（fàn）圍 | 作用 |
Cu2+ | ≤20g/L | 除（chú）去銅表麵上氧化層 和形成的微觀粗化，增強後續工（gōng）序結合（hé）力 |
H2SO4 | 3%~5% | |
SPS | 50~70g/L |
過硫酸銨/硫酸體係（xì）：
主要（yào）工藝參數 | 控製範圍 | 作用 |
Cu2+ | ≤20g/L | 除去（qù）銅表麵上氧化層 和形成（chéng）的（de）微觀粗化，增強後續工序結合（hé）力 |
H2SO4 | 3%~5% | |
APS | 50~70g/L |
以上信（xìn）息由東（dōng）莞小蝌蚪影院實業整理報告，如需轉載，請標明出處：www.qkgs.net或www.mccfdc.com
微信二維碼
微信公眾號
掃一掃 微信客服